專為超大納米平板顯示器測量而設計的自動化原子力顯微鏡（AFM）系統
隨著對大型平板顯示器原子力顯微鏡計量需求的增加，Park NX-TSH通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結合，克服了針對大型和重型樣品進行納米計量的巨大挑戰。Park NX-TSH能獲得高分辨率的表面粗糙度測量，臺階高度測量和關鍵尺寸測量。
專為OLED面板行業整片測量，LCD測量提供的全自動探針掃描器解決方案
專為新一代顯示器工廠的應用需求研發設計
Park原子力顯微鏡公司已經擴展了原子力顯微鏡設備的測量尺寸，Park NX-TSH（龍門架設計平板式探針掃描器）可針對第八代及
大于第八代的所有大型平板顯示器進行測量。專為新一代顯示器工廠的應用需求研發設計，樣品尺寸可以測2200 mm。
硅片直徑的變化
使用導電原子力顯微鏡，Park NX-TSH 使用可選探針站測量樣品表面，該探針站接觸樣品表面并向小設備或晶圓片上的設備提供電流。
Park NX-TSH用于帶有導電原子力顯微鏡的2D編碼器樣品，通過集成微探針站進行電氣缺陷分析。
克服了樣品大小和重量的限制
專為新一代顯示器工廠的應用需求研發設計，樣品尺寸可以測到2200 mm.
具有閉環雙伺服系統的100μmx 100μm柔性導向XY掃描器
具有低噪聲位置傳感器的15μm高速Z掃描器
自動測量控制，簡易操作測量更精準！
? 自動，半自動，手動模式三種模式隨時切換控制 ? 提供自動化程序的編輯方法 ? 實時監控測量過程 ? 自動分析所獲得的測量數據
電離系統可提供更穩定的掃描環境
Park NX-TSH規格：